三坐標(biāo)精密測(cè)量機(jī)采用的是紅寶石測(cè)量開(kāi)頭并通過(guò)氣浮軸承使測(cè)量頭精密接觸被測(cè)物體連續(xù)移動(dòng)，同時(shí)，三坐標(biāo)的3個(gè)軸XYZ有三個(gè)光柵尺連續(xù)記載紅寶石測(cè)量頭當(dāng)前位置的坐標(biāo)值，也就是所說(shuō)的測(cè)量值工件的實(shí)際尺寸，輸出給電腦軟件進(jìn)行處理，繪制出被測(cè)工件的三維圖形。

　　為什么要使用潔凈干燥的壓縮空氣：氣浮軸承以及光柵尺都需要高潔凈度的壓縮空氣進(jìn)行驅(qū)動(dòng)以及保護(hù)，干燥度不夠的壓縮空氣會(huì)大大影響氣浮軸承的移動(dòng)精度以及光柵尺的測(cè)量精度。

　　壓縮空氣膜干燥器的優(yōu)點(diǎn)：滲膜式干燥器的高可靠性使得高價(jià)值的測(cè)量機(jī)設(shè)備得到良好的保護(hù)，增加整個(gè)系統(tǒng)的壽命、提高系統(tǒng)的測(cè)量精度、減少后期維護(hù)。